
specification
產(chǎn)品特性
廣泛應用在半導體、微電子、精密儀器、精細化工等車間的高潔凈等級區(qū)域,以及特種設備區(qū)(工序制程釋放灰顆?;驓怏w物質(zhì))、檢驗檢測區(qū)等,保障該工段的空氣在可控范圍內(nèi)。
performance curve