ISO Class 1 潔凈室是最高級別的潔凈環(huán)境，適用于最精密的微電子制造、納米技術研發(fā)和某些生物醫(yī)藥應用。以下是改造現(xiàn)有空間達到ISO 1級標準的要點：

關鍵改造要素

1.空氣過濾系統(tǒng)升級

• 安裝ULPA過濾器（效率≥99.9995% @ 0.12μm）
• 采用層流(單向流)設計，風速控制在0.3-0.5m/s
• 增加換氣次數(shù)(通常>500次/小時)

2.結(jié)構改造

• 使用無脫落、易清潔的墻面材料(如不銹鋼板、電解鋼板)
• 消除所有死角，采用弧形墻角
• 安裝氣鎖室和更衣室緩沖區(qū)

3.HVAC系統(tǒng)升級

• 獨立溫濕度控制系統(tǒng)(通常22±1°C，45±5%RH)
• 精密壓差控制(相鄰區(qū)域≥5Pa)
• 振動隔離設計

4.材料與設備選擇

• 使用抗靜電材料
• 專用潔凈室兼容設備
• 自動化物料傳輸系統(tǒng)減少人員干預

實施步驟

1.現(xiàn)狀評估與差距分析

2.詳細工程設計

3.施工期間臨時潔凈措施

4.分階段驗證(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))

5.人員培訓與操作規(guī)程制定

持續(xù)維護要求

1.連續(xù)粒子監(jiān)測系統(tǒng)

2.嚴格的清潔規(guī)程

3.定期過濾器完整性測試

4.人員行為規(guī)范執(zhí)行

潔斐然為潔凈室改造改造ISO1級/微環(huán)境提供專業(yè)團隊及方案，為光刻機、晶圓制造、半導體行業(yè)的特定高精尖產(chǎn)業(yè)提供必要的生產(chǎn)環(huán)境。